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產品詳情
  • 產品名稱:小型粉末PVD包覆系統

  • 產品型號:CY-16PW
  • 產品廠商:成越科儀
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
小型粉末PVD包覆系統是一款小型粉末包覆系統,主要有2英寸磁控濺射頭和振動樣品臺組成。小型粉末PVD包覆系統粉末在振動樣品臺上振動翻滾,通過濺射在粉末表面進行包覆形成核殼結構。直流磁控濺射適合粉體表面包覆金屬材料.射頻磁控濺射適合材料表面包覆非金屬材料或碳。
詳情介紹:

小型粉末PVD包覆系統技術參數:

產品型號

小型粉末PVD包覆系統CY-16PW

產品特點

1、可對粉體材料進行表面包覆:采用磁控濺射,濺射時粉體材料在振動樣品臺上翻滾,達到粉體表面均勻包覆

2、設備小巧可在手套箱內使用,可處理樣敏感性材料

技術參數

1、輸入電壓:220 VAC 50/60Hz
2、電源輸出:1600 VDC 250 W
3、ZUI大電流:150 mA .
4、濺射頭:2英寸角度可調節濺射頭
5、振動樣品臺:
樣品臺振動頻率可調節:6-33Hz
樣品臺直徑為50mm
建議樣品量: < 500 mg
建議顆粒尺寸: 1 ~ 1000um
石英腔體尺寸:165 mm OD.×150 mm ID×250 mm H
6、真空度:
①1.0E-2 Torr(采用機械泵),可濺射Au, Ag, Pt, Cu, Mo等靶
② 1.0E-5 Torr(采用分子泵),可濺射Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn等易氧化金屬靶*大真空度可達到< 4.0E-6 Torr(分子泵系統抽時間12小時,腔體進行烘烤)
7、CE認證

產品規格

外形尺寸:長460×寬330×高810mm  凈重:20Kg

注意事項

警告:
1、濺射頭與高壓電源相連接,操作時必須佩帶防護手套
2、濺射前必須確保靶材,濺射頭,基片和樣品臺清潔,需要用砂紙和乙醇來清洗,Al或是Ni靶每次使用時都必須清洗和處理
注意:粉末樣品必須干燥和分散

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