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旋轉PECVD
本產品為等離子增強回轉化學氣相沉積系統（旋轉PECVD），爐管采用變徑設計，中部管徑較粗且有有混料隔板，能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合，通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉，使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果；設備另配有等離子發生裝置，采用電感耦合與爐管連接，產生的等離子能夠滿布爐管，有效的提高反應物活化能，降低反應溫度，提高反應效率。設備配有三路質量流量計及混氣裝置，可用于向路管內通入多種氣體，同時設備配有高性能機械泵，能夠快速將爐管抽至真空；通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。
技術參數
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雙溫區管式爐 |
產品型號 |
CY-PECVD60R-1200-Q |
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設備功率 |
3KW |
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爐管材質 |
高純石英 |
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爐管尺寸 |
Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm（石英異型管） |
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爐膛長度 |
440mm |
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加熱區長 |
200mm+200mm |
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工作溫度 |
0～1150℃ |
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極限溫度 |
1200℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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熱電偶類型 |
K型熱電偶 |
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控溫模式 |
30段程序控溫，PID參數自整定 |
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顯示模式 |
高清全彩LCD觸控屏 |
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密封方式 |
304不銹鋼真空法蘭 |
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供電電源 |
AC:220V 50/60Hz |
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旋轉速度 |
0~13rpm |
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傾斜角度 |
0~35° |
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3路質量流量計 |
產品型號 |
CY-3Z |
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氣路數量 |
3路 |
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流量計類型 |
質量流量計 |
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測量范圍 |
A路：0~100sccm; B路：0~200 sccm; C路：0~500 sccm |
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測量精度 |
±1.5% |
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工作壓差 |
0.1~0.5MPa |
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管路接口 |
1/4英寸卡套接頭 |
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供電 |
AC220V 50/60Hz |
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真空系統 |
真空泵 |
雙極旋片泵 |
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抽速 |
1.1L/s |
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抽氣接口 |
KF16 |
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泵極限真空度 |
10E-1Pa |
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供電 |
AC220V 50/60Hz |
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射頻電源 |
信號頻率 |
13.56MHz±0.005% |
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功率輸出范圍 |
0~500W |
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*大反射功率 |
100W |
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射頻輸出接口 |
50Ω，N-Type，female |
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功率穩定度 |
≤5W |
