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產(chǎn)品名稱：換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀
產(chǎn)品型號：CY-PLZ180-I-DC-Q
產(chǎn)品廠商：成越科儀
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

本型號等離子濺射儀，采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗，本設(shè)備配備換位自轉(zhuǎn)式樣品臺，用戶可以在觸控屏上實現(xiàn)一鍵換位，樣品臺可在兩個靶位自由切換，本設(shè)備體積小巧造型美觀功能強大，是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。

詳情介紹：

本型號換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀，采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀配備換位自轉(zhuǎn)式樣品臺，用戶可以在觸控屏上實現(xiàn)一鍵換位，樣品臺可在兩個靶位自由切換，到位后樣品臺還可進行自轉(zhuǎn)，以增強鍍膜的均勻性。另外客戶可以選配晶振式膜厚儀對膜厚進行監(jiān)測，以提高鍍膜的精準(zhǔn)度。

本設(shè)備體積小巧造型美觀功能強大，是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。

換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀
產(chǎn)品型號	CY-PLZ180-I-DC-Q
樣品臺	尺寸	60mm
樣品臺	到靶面距離	可在兩個靶位間自動切換
等離子濺射靶	數(shù)量	2英寸x1
等離子濺射靶	冷卻方式	自然冷卻
真空腔體	腔體尺寸	φ180mm X 150mm
	觀察窗口	全向可視
	腔體材料	高純石英
	開啟方式	頂蓋拆卸式
	上下蓋材質(zhì)	304不銹鋼
	抽氣接口	KF25
	進氣接口	1/4英寸卡套接頭
電源配置	數(shù)量	直流電源x1
	輸出功率	*大150W
	濺射電源	3000V
	*大濺射電流	50mA
真空系統(tǒng)	真空泵類型	雙極旋片真空泵
	抽氣接口	KF25
	排氣接口	KF16
	抽氣速率	1.1L/s（4m³/h）
	極限真空度	≥1Pa
	真空測量	電阻真空規(guī)
其他	供電電源	AC 220V 50Hz
	整機功率	1.5KW/2KW（旋轉(zhuǎn)加熱）
	整機尺寸	570mm X 450mm X450mm
	整機重量	30kg

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