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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
雙靶磁控鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用,也可實驗室SEM樣品制備
詳情介紹:

本設(shè)備為雙靶磁控鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用,也可實驗室SEM樣品制備。

本套配置采用高真空不銹鋼腔體,前開門式設(shè)計,門上配有石英觀察窗,便于實驗的觀察記錄。同時設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺,可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。頂蓋上裝有一套擋板,可通過轉(zhuǎn)動擋板切換兩支靶,實現(xiàn)多層鍍膜。

本設(shè)備需要配合高真空分子泵組一起使用,用戶可以選擇進(jìn)口品牌小型分子泵以進(jìn)一步節(jié)省安裝面積。同時該型號可選配膜厚儀組件,可實時監(jiān)測膜厚數(shù)據(jù),為實驗工藝提供可靠參數(shù)。

雙靶磁控鍍膜儀參數(shù):

產(chǎn)品名稱

桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-MSZ210-I I -DCDC-SS

樣品臺

外形尺寸

φ60mm

加熱溫度

500

可調(diào)轉(zhuǎn)速

20rpm

磁控靶槍

配兩支2英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm

真空腔體

腔體尺寸

φ210mm X260mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

304不銹鋼

開啟方式

上蓋拆卸式

真空系統(tǒng)

前級泵

低噪音雙極旋片泵

分子泵

低噪音大抽速渦輪分子泵

真空測量

復(fù)合真空計,量程:10-5~105Pa

抽氣接口

KF16

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

系統(tǒng)真空

1.0×10-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

分子泵抽速600L/s,前級泵抽速1.1L/s 

電源配置

電源數(shù)量

直流電源兩套

輸出功率

500W

其他參數(shù)

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

2kW

整機(jī)尺寸

550mm X 350mm X400mm



豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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