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技術參數
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項目 |
明細 |
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產品型號 |
CY-MSH325-III-RFRFRF-UPS-SS |
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供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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整機功率 |
6KW |
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系統真空 |
≦5×10-4Pa |
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樣品臺 |
外形尺寸 |
φ150mm |
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加熱溫度 |
≦700℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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可調轉速 |
≦40rpm |
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磁控靶槍 |
靶材尺寸 |
直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm |
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冷卻模式 |
循環水冷 |
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水流大小 |
不小于10L/Min |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
直徑φ325mm，高度385mm |
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腔體材質 |
SUU304不銹鋼 |
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觀察窗口 |
直徑φ100mm |
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開啟方式 |
頂開式 |
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氣體控制 |
1路質量流量計用于控制Ar流量，量程為:200SCCM |
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真空系統 |
配分子泵系統1套，氣體抽速600L/S |
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膜厚測量 |
可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ? |
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濺射電源 |
配射頻濺射電源,功率500W*3 |
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控制系統 |
CYKY自研專業級控制系統 |
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UPS |
20KVA 16KW，延遲1小時 16節電池，容量38AH |
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設備尺寸 |
1090mm×900mm×1250mm |
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設備重量 |
350kg |
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