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產品詳情
  • 產品名稱:迷你石墨烯CVD設備

  • 產品型號:CY-CVD1200-50-200-3TH-Q
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
迷你石墨烯CVD設備專為石墨烯生產設計配有高精度質量流量計以及薄膜真空規。迷你石墨烯CVD設備同時設備配有可燃氣體檢測裝置,聯動出氣口電磁閥,一旦出現泄漏電磁閥即可自行關閉保證**。
詳情介紹:

迷你石墨烯CVD設備
本套CVD系統專為石墨烯生產設計,采用1200℃迷你管式爐,配有高精度質量流量計以及薄膜真空規。相比于常規的皮拉尼電阻規,薄膜規的讀數**,不受氣體種類影響,十分適合真空鍍膜工藝。同時設備配有可燃氣體檢測裝置,聯動出氣口電磁閥,一旦出現泄漏電磁閥即可自行關閉保證**。
該套設備功能**占地面積較小,十分適合實驗室規模的CVD制備。

特點

1.高精度質量流量計以及薄膜真空規

2.可燃氣體檢測裝置,聯動出氣口電磁閥

3.體積小巧

4.專為石墨烯生產設計

技術參數:

1200℃迷你管式爐 
供電電壓 AC220V,50Hz
功率 2KW max
加熱溫區 單溫區200mm
恒溫區長 100mm
加熱元件 耐熱合金絲
熱電偶 K型
工作溫度
≤1150℃
升溫速率
建議≤10℃/min
控溫精度
±1℃
控溫方式
AI-PID 30段工藝曲線,帶有過熱和斷偶保護
爐管材質
高純石英
爐管尺寸
φ50mm O.D x 450mm L
真空泵
機械泵  抽速1.1L/s
極限真空
5Pa

三路浮子流量計
閥門類型
不銹鋼針閥
氣路數量
三路
承壓范圍
0.05~0.3MPa
量程
Ar 0~500sccm
H2 0~200sccm
CH4 0~10sccm
流量控制范圍
±1.5%
混氣罐容積
750mL
氣路材料
304不銹鋼
管道接口
6.35mm卡套接頭
供電電源
AC220V 50Hz


豫公網安備 41019702002438號

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